Evapore sibstans tankou metal, konpoze, elatriye yo mete nan gid la oswa pandye sou fil la cho tankou yon sous evaporasyon, ak substrates yo dwe plake tankou metal, seramik, plastik, elatriye yo mete nan devan crucible la. Apre yo fin sistèm lan ponpe nan yon vakyòm segondè, materyèl la se evapore pa chofe kwizib la. Atòm yo oswa molekil nan materyèl la evapore yo depoze sou sifas la nan substra a nan yon fason ki kondanse. Film epesè ka varye ant dè santèn de angstroms pou plizyè mikron. Se epesè a fim detèmine pa to a evaporasyon ak tan nan sous la evaporasyon (oswa depann sou kantite lajan an nan chaj) ak ki gen rapò ak distans ki genyen ant sous la ak substrate la. Pou kouch gwo zòn, wotasyon substra oswa sous evaporasyon miltip yo souvan itilize asire inifòmite nan epesè fim nan. Distans ki soti nan sous la evaporasyon substra a ta dwe mwens pase wout la vle di gratis nan molekil yo vapè nan gaz la rezidyèl pou ke molekil vapè pa kolizyon ak molekil gaz rezidyèl lakòz reyaksyon chimik. Enèji an mwayèn kinetik nan molekil vapè se sou 0.1-0.2 vòltè elektwonik.
Evapore sibstans tankou metal, konpoze, elatriye yo mete nan gid la oswa pandye sou fil la cho tankou yon sous evaporasyon, ak substrates yo dwe plake tankou metal, seramik, plastik, elatriye yo mete nan devan crucible la. Apre yo fin sistèm lan ponpe nan yon vakyòm segondè, materyèl la se evapore pa chofe kwizib la. Atòm yo oswa molekil nan materyèl la evapore yo depoze sou sifas la nan substra a nan yon fason ki kondanse. Film epesè ka varye ant dè santèn de angstroms pou plizyè mikron. Se epesè a fim detèmine pa to a evaporasyon ak tan nan sous la evaporasyon (oswa depann sou kantite lajan an nan chaj) ak ki gen rapò ak distans ki genyen ant sous la ak substrate la. Pou kouch gwo zòn, wotasyon substra oswa sous evaporasyon miltip yo souvan itilize asire inifòmite nan epesè fim nan. Distans ki soti nan sous la evaporasyon substra a ta dwe mwens pase wout la vle di gratis nan molekil yo vapè nan gaz la rezidyèl pou ke molekil vapè pa kolizyon ak molekil gaz rezidyèl lakòz reyaksyon chimik. Enèji an mwayèn kinetik nan molekil vapè se sou 0.1-0.2 vòltè elektwonik.
Gen twa kalite sous evaporasyon. (1) Sous chofaj rezistans: Yon metal refractory tankou tengstèn oswa tantal itilize pou fòme yon papye bato oswa yon filaman, ki chofe pa aktyèl elektrik, chofe anlè li, oswa mete li nan yon tiyo (Figi 1 [dyagram chema nan evaporasyon ekipman kouch]). Sous la se sitou itilize yo evapore Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni ak lòt materyèl. 2 segondè frekans endiksyon chofaj Sous: Sèvi ak aktyèl aktyèl frekans frekans nan chaleman elyòm ak materyèl vaporize. 3 Sous elektrik chofè elektrik: Apwopriye pou materyèl ki gen tanperati evaporasyon (pa mwens pase 2000 [618-1]), se sa ki bonbade materyèl la avèk bouton elèktron pou evapore.